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实验 磁控溅射 镀膜 厂家

起订量 ≥1台
供货总量 9999台
发货期限 自买家付款3日内发货
发货地 于洪区黑山路10-26号
买家服务 · 正规厂家 · 质高价优 · 交期保障 · 售后无忧
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名称 双靶磁控溅射 型号 SLCK350
厂家 沈阳思联真空设备有限公司
产品详情

PRODUCT DETAILS

靶磁控溅射设备

1.设备性能:

该设备是一台单腔室磁控溅射设备,可溅射各种金属材料,真空腔室选用优质304不锈钢加工 圆柱型 尺寸350mm*300mm,前开门结构;顶部安装有22英寸磁控靶与基片台距离可调,每只靶配单独挡板;底部装有样品台 可旋转 可加热,内配有照明系统 可照明 ;前面配有观察窗;真空获得系统安装于真空室侧 包括600分子泵4L机械泵,压差阀,波纹管软连接电控系统一套包括相序保护,真空控制系统;真空检测系统 真空计;

 

设备采用 进口检漏仪检漏  漏率超过5*10-10Pa/l/s;

极限真空可达5*10-5Pa;

抽工作真空7*10-4小于30分钟

 

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  • 王经理
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王经理(先生)

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